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HOME > セミコン・ジャパン 2005 スペシャル･レポート > 【大手半導体製造装置メーカーに聞く】米Lam Research Corp.

セミコン・ジャパン 2005 スペシャル･レポート

大手半導体製造装置メーカーに聞く

米Lam Research Corp.

日本での市場シェアを急拡大
レジスト除去や洗浄に参入

森田 雅之 氏
Vice President,
ラム リサーチ 代表取締役 社長

　2005年は，世界全体のエッチャへの投資額が対前年比で15％下落した。そのような状況の中，われわれは前年並みの営業利益を確保した。シェアは対前年比5ポイント増の40％に拡大し，5年間連続の首位を維持した。

　厳しい市況の中で2005年にシェアを拡大できた最大の理由は，日本のLSIメーカー向けのエッチャが急速に伸びたことである。2004年は約25％だった日本市場でのわれわれのシェアは，2005年には約40％に伸びた。特に，これまであまり強くなかった酸化膜エッチャが，メモリー・メーカーを中心に採用されたことが大きな成果だった。日本以外では，韓国と台湾向けが伸びた。この地域でもメモリー・メーカー向けの引き合いが強かった。
　このように，直近では携帯型音楽プレーヤ向けなどのNAND型フラッシュを中心として，メモリー向けの需要が旺盛である。その一方，ゲーム機向けなどで，65nm（hp90）といった最先端プロセスを使うロジックLSIメーカーからの受注も着実に増えている。

　2006年は，これまで取り組んでこなかった新たな領域の開拓が課題になる。エッチング後のレジスト除去や洗浄といった周辺プロセス向けの装置開発である。製品化時期は明らかにできないが，すでにこれらの装置の開発を独自に進めている。

　さらに，液浸ArFへと変化する露光技術への対応も重要な課題になる。露光のプロセス・ウィンドウが狭まるのを補う機能をわれわれのエッチャに導入できれば，LSIメーカーにとって魅力的な装置になるはずである。

　地域別では，韓国，台湾，中国，そして日本向けの比重を今後さらに高める。この地域での部材調達，人材確保の体制を強化する。さらに，引き続き低コストの装置をユーザーに提供することに注力していく。　（談）

（「NIKKEI MICRODEVICES 2005年12月号」から抜粋）