大手半導体製造装置メーカーに聞く
米Applied Materials, Inc.
検査装置を新たな事業の柱に
液晶向けは第8世代に移行
Michael R. Splinter 氏
President and Chief Executive Officer
2005年度（2005年10月期）は，前年度に比べて中国，台湾，欧州の市場がやや低迷した。一方，メモリーを中心とする民生機器向けデバイスが市場をけん引した日本や韓国は好調だった。
そのような状況の中，2005年度は多数の新製品を市場投入した。特に次の三つの製品は今後大きな収益源になると期待している。
第1に，45nmノード（hp65）以降に対応する明視野検査装置「UVision」である。競合の明視野検査装置に比べて高いスループットと拡張性を実現しており,今後われわれが注力する検査装置分野の核に位置づけている。第2に，第8世代（基板寸法2160mm×2400mm）のTFT液晶パネルに対応するCVD装置である。大型テレビ向け液晶パネルの需要増に応えて製品化した。すでに大手液晶パネル・メーカー1社から受注しており，2006年上期に出荷を開始する予定である。第3に，CD（critical dimension）バラつきを抑制したエッチング装置である。微細化の進行に伴って問題になるCDバラつきを，ウエーハ全面で従来比50％抑制している。
2005年度後半に向け，これまで低調だった地域の受注に回復傾向が見られ始めた。Siファウンドリの稼働率とDRAMやフラッシュを中心とするメモリーでの投資動向が，今後の市況を見極めるカギになると見ている。
2006年度も，LSIメーカーの要求に応えるべく継続的に新製品を市場投入する。特に，45nm以降の本格導入が予定されるひずみSiに対応する装置を順次投入したい。この世代では，プロセス・マージンを広げるDFM（design for manufacturability）への取り組みも課題になる。地域別では，2005年から2006年にかけて12の300mmウエーハ対応工場が立ち上がる日本を，今後もしっかり押さえていく。 （談）
SEMICON Japan 2004
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