LSI OPEN Collaboration

　＞提携サイト
　NIKKEI MICRODEVICES
　Silicon Online

アセックがGaN基板製造のMOCVD工程に関する
ソリューション提供を希望するユーザーを募集

[2005/02/16]

アセックからの提案：

　GaN基板製造のMOCVD工程に関する
　ソリューション提供を希望するユーザーの募集

詳細は下記のPDFファイルをダウンロードししてください。

アセック詳細ファイル（asec_biznote.pdf）

PDFファイルの閲覧にはAcrobat® Reader®が必要です。
Acrobat® Reader®のダウンロードはこちら

　GaN基板は，現在は市場が急拡大している青色LEDの原材料として，将来に向けては次世代光ディスクのピックアップに使われる青色LDや一般照明向け白色LEDなどの原材料として，その市場が急拡大していくことが期待されている。しかし，現状ではGaN基板の製造コストの高さと，基板品質の悪さに起因するデバイスの製造歩留まりの低さが阻害要因になって，期待ほど市場が拡大していない。この原因の一つとして，MOCVD工程の低生産性や成膜性能の不足がある。
　この問題を解決するため，GaN基板向けMOCVD装置のソリューションを提供する。すなわち，MOCVD装置とこれに適したプロセス・レシピを合わせてユーザーに提供する。さらにエピ検証，ユーザー・サポートも実施する。このようなソリューションの提供を希望するユーザーを募集する。